مقایسه بین CVD و PVD

CVD  فرآیندی است که نیروی پرتاب بالایی دارد و رسوب‌گذاری در آن بر خلاف روش‎های پراکنشی، تبخیری و دیگر فرآیندهای PVD که رسوب‌گذاری در آن‌ها به صورت جهت‎دار صورت می‎پذیرد، جهت‎دار نیست. بنابراین می‌تواند برای پوشش دادن شکل‌های پیچیده و رسوب لایه‎های با تطبیق‎پذیری عالی به کار برده شود. گودی‎های عمیق، سوراخ‎ها و دیگر شکل‎های سه بعدی پیچیده معمولاً با استفاده از روشCVD به راحتی می‌تواند پوشش داده شود و این ویژگی فرآیند CVD باعث برتری آن نسبت به PVD است.

 

 
مقایسه بین CVD و PVD

CVD در مقایسه با PVD دارای پیچیدگی بیشتری است و برای به دست آوردن شرایط رشد مناسب نیازمند تست‎های زیادی است. واکنش‎های شیمیایی به طور کلی شامل گونه‎های گازی مختلف و تولید شماری از گونه‎های واسطه است. همچنین این روش دارای گام‎های پیاپی برای رسوب‎دهی است.

CVD در مقایسه با PVD نیازی به خلأ بالا ندارد و دستگاه به راحتی می‎تواند با شرایط محیطی سازگار گردد که این انعطاف‌پذیری از مزایای بسیار خوب این روش است.

انتشار: بروزرسانی: 15 آذر 1398 شناسه مطلب: 28

دیدگاه های مرتبط با "مقایسه بین CVD و PVD"

* نظرتان را در مورد این مقاله با ما درمیان بگذارید